檢測目的：檢測潔凈室內空氣懸浮粒子等級。根據ISO 14644-1：1999（E）確定房間潔凈度分級。
儀器設備：塵粒計數器
檢測條件：靜態
對每種塵粒尺寸的允許計數限值：
ISO 4級：≤1020個/m³：0.3um以上
      ≤352個/m³：0.5um以上
ISO 5級：≤10200個/m³：0.3um以上
      ≤3520個/m³：0.5um以上
ISO 6級：≤35200個/m³：0.3um以上
      ≤293個/m³：5.0um以上
檢測步驟：
參考：ISO 14644-1:1999（E）空氣潔凈度分級
   NEBB潔凈室認證檢測標準步驟（第二版）
1、本檢測應在其它所有檢測完成之后進行。
2、潔凈室在檢測進行前12小時通風。
3、潔凈室依照ISO 14644-1：1999（E）要求劃分為檢測網格，檢測網格數量由潔凈室面積（m²）的平方根確定。
4、ISO 5級潔凈室的采樣時間間隔為1分鐘，ISO 4和6級潔凈室的采樣時間間隔為3分鐘，計數器的采樣率為28.3lpm（1立方英尺/分鐘）
5、在每個網格的中心位置，距地板1m高度至少采樣一次，當塵粒數超過允許計數上限75%，則該采樣點需3次采樣。
6、當室內存在障礙物，采樣點需高于障礙物表面12英寸（1英尺）。
7、根據收集的數據計算平均值，標準差及95%置信上限。
計算方法：

式中，C_i為網格平均濃度
    N為房間或區域內采樣點總數
標準1：各采樣點的采樣量的大值均小于大允許采樣量
標準2：（當2≤N≤9）
≤大允許采樣量
式中：

t_0.95中的t為分布在N-1自由度下95%分位數。