潔凈室的凈化空調(diào)負(fù)荷由下面幾部分組成：
一、室內(nèi)負(fù)荷主要包括：
1、室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷。
2、室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷。
3、潔凈室圍護結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門、窗）的傳熱、傳濕負(fù)荷。
4、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負(fù)荷。
二、潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。
三、空氣循環(huán)時風(fēng)機（或FFU）的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。
潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點:
1、高級別潔凈室（100級，10級，1級）是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機的風(fēng)量非常大，高達400～500次/h換氣，而且風(fēng)機的壓頭也很高，一般多在1000～1500Pa，因此風(fēng)機溫升的負(fù)荷大。按理論計算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機的溫升為1.5℃，*一項的負(fù)荷就是500～700W/m2；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機溫升的負(fù)荷也要250～350W/m2。因此，風(fēng)機溫升的負(fù)荷大是其一個負(fù)荷特點。
2、服務(wù)于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10～20次/h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷大約為400～800W/m2；個別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負(fù)荷也還會更大。因此新風(fēng)負(fù)荷大是其第二個負(fù)荷特點。
3、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級別潔凈室的第三個負(fù)荷特點。生產(chǎn)負(fù)荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。
4、圍護結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項負(fù)荷相對比較小，三項負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10%（其中：照明負(fù)荷大約25～30W/m2；圍護結(jié)構(gòu)負(fù)荷大約20～30W/m2；作業(yè)人員負(fù)荷大約10～15W/m2，這是高級別潔凈室第四個負(fù)荷特點。
潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施：
潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應(yīng)首先從分析其空調(diào)負(fù)荷特點入手，抓住空調(diào)負(fù)荷中的主要矛盾，才能事半功倍。高級別潔凈室空調(diào)負(fù)荷中占90%以上的負(fù)荷是：新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過程負(fù)荷三項。這是它的主要矛盾。
一、降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施
1、減少排風(fēng)量。改進工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)，少排風(fēng)。采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量。
2、減少正壓漏風(fēng)量。加強潔凈室圍護結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風(fēng)量。
3、提風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。
二、降低風(fēng)機溫升負(fù)荷的節(jié)能措施
1、在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。
2、加強空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。
3、采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送風(fēng)方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)以減少風(fēng)機溫升負(fù)荷。
4、采用FFU加新風(fēng)機組加干盤管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機溫升負(fù)荷。
5、提高風(fēng)機效率，采取變頻措施。
三、工藝設(shè)備和工藝過程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。
四、除上述措施之外，還可采取如下措施：
1、合理選擇和確定潔凈室內(nèi)的工藝參數(shù)（溫度、濕度、潔凈度）。潔凈室的凈化空調(diào)是重點能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈室的潔凈度和溫、濕度時要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過高過嚴(yán)要求。否則，其能耗會大幅度上升。分析計算潔凈室內(nèi)溫度放寬1℃時其能耗可節(jié)省3%左右；其相對濕度放寬5%時其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負(fù)荷計算時安全裕量不應(yīng)留有過大，否則設(shè)備的耗電會大大增加，為了今后的發(fā)展要留有動力設(shè)備的空位。
2、優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程
凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程的優(yōu)化對節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風(fēng)機溫升。在“潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計與安裝”的國家標(biāo)準(zhǔn)圖的例題中的計算結(jié)果是這樣的：對于一級潔凈手術(shù)室（北京）夏季耗冷量，當(dāng)采用一次回風(fēng)系統(tǒng)時是60kW，而采用二次回風(fēng)系統(tǒng)時只有25kW，當(dāng)采用新風(fēng)機組深冷抽濕處理時其耗冷量只有20kW。
3、合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備
①設(shè)計建造潔凈室時要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備（冷機、風(fēng)機、水泵）。
②選擇低阻高效的過濾設(shè)備，風(fēng)機和水泵的壓頭選擇不宜過高。
③電動設(shè)備采取變頻措施。
4、低位熱能的利用和廢熱的回收
低位熱能和廢熱回收的潛力非常大。現(xiàn)在很多專家在這方面進行了大量研究，如：工藝?yán)鋮s水的回收和利用；噴水氣化潛熱的利用；冷凍機、空壓機廢熱的回收以及利用冷凍水和中溫水回水混合制造中溫水等等。
5、加強水管和風(fēng)管的保溫。
6、減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。
7、采取熱回收，充分利用廢熱。
8、盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱，如：太陽能、地下水、土壤能等。
9、利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。